东海供电所工作人员在巡查供电用电安全。 本报记者 庄钊滢 摄

　　他们手持红外测温仪，对准路边的一个个分线箱，仔细排查接口温度异常、线缆异物悬挂等安全隐患。“春节是用电高峰期，蟳埔村又是泉州热门旅游目的地，对保电工作提出更高要求。”今年是齐飞扎根泉州的第十年，也是这名安徽小伙坚守保电一线的第八个春节。

　　“比起往年，我们今年的保电工作更从容、更有底气。”齐飞高兴地告诉记者，蟳埔村去年刚完成电线缆化改造，不仅解决了“遍地路中杆”“空中蜘蛛网”现象，还实现核心景区内的双电源供电，供电可靠性大幅提升。走进一处配电室，记者还看到一台智能巡检机器人，可以不间断地对设备的温度、外观、运行环境等进行检测，及时发现隐患。

　　有了多重保险，齐飞与同伴们仍不敢有丝毫松懈。春节至元宵期间，他与同伴组成一支8人小队，专门负责丰泽区“滨海浪漫线”沿线的保电工作，蟳埔村是保障核心。

　　有“黑科技”加持，为何还需调配专人常态化巡检？“这可以规避机器巡检的漏判风险，还可以针对隐患预警作出快速响应。”齐飞介绍，蟳埔村的供电线缆总长度超10公里，分布有配电室、变电箱、分线箱约200个点位，他们每日需沿线步行巡检2至3轮。

　　除夕当晚，千家万户围坐吃年夜饭、看春晚时，用电需求迎来高峰，这也是齐飞和同事最紧张的时段。按照计划，齐飞和伙伴们轮流提前吃好工作餐，确保在这一关键时段，无缝衔接开展重点巡查工作。“我们的年夜饭就是工作盒饭。”齐飞告诉记者，“8年来，除夕夜我最想念的菜就是我妈做的红薯丸子烧土豆。但是，人民电业为人民，既然在这个岗位上，我们就必须履行为人民保电供电的岗位职责。”

　　“新的一年里，愿家人平安康健，三餐四季温暖相伴；愿工作顺利畅达，前路光明坦荡。”面对万家灯火，齐飞在工作岗位上许下新年的美好祝愿。

　　8月9日，总投资103亿元、位于铜陵经开区的铜陵有色绿色智能铜基新材料项目正在加快推进。本报通讯员 潘 伟 摄

　　日前，位于马鞍山经开区的东科半导体新厂区项目投用。本报通讯员 储灿林 摄

　　连日来，记者走访合肥、滁州、马鞍山、铜陵等地，在开发园区，看到的是一个个正在大干快干的重点项目；进入车间，工人们正在加快生产；与企业家交流，听到的是一个个发展难题被顺利化解……以稳投资为重点、抓项目为支撑，全省广大干群正热火朝天地奋战在这片发展的热土上。

　　攻坚项目招引

　　扩大有效投资

　　7月25日，位于铜陵市铜官区的赛得利（铜陵）无纺材料项目一期工程正式开机投产。该项目总投资8.94亿元，其中一期投资3.54亿元，于2022年9月开工，建设2条高端水刺无纺布生产线，从开工到投产仅10个月。

　　“该项目是以商引商、产业链招商的重要成果，也是我们大健康产业链重要的补链、强链项目。建成投产后，对后续母婴产品、化妆品项目的招引及培育具有重要牵引作用。”铜官区委书记王书春告诉记者。

　　项目是发展的第一抓手，抓发展就必须抓项目。近年来，铜陵市树立“项目为王”理念，在推行以商招商、基金招商等基础上，结合自身工业基础和产业实际，围绕智能装备制造、大健康和文旅等六大重点产业链，分链条编制产业发展规划，梳理建立重点招商项目库，构建“链长领衔+县（园）区承接+部门联动+驻外招商”模式，并积极发挥商协会桥梁作用，推动重点项目落地。

　　在马鞍山，该市聚焦以高品质特种钢铁材料为主导的国家级先进结构材料产业集群，以智能装备制造、节能环保、绿色食品为方向的3个省级重大新兴产业集群，以精细化工材料、软件互联网等为特色的若干个市级新兴产业集群，深化以商招商，开拓乡情招商，联合“龙头”招商，聚力招强引优。

　　“今年上半年，马鞍山市新签约项目272个，当年签约并开工140个，开工率51.5%。”马鞍山市投资促进中心办公室主任马妮雅说，该市新签约项目中，新能源汽车、新材料、新能源、高端装备制造项目达209个、占比77%，重大项目中新能源汽车和智能网联汽车产业项目、新能源和节能环保产业项目共12个、占比40%。

　　攻坚项目招引，我省各地结合实际全面发力。合肥市印发《2023年招大引强攻坚行动方案》，实施重大项目谋划发掘、外资项目攻坚、重点产业链项目攻坚三大专项行动，并建立“赛马”机制。同时，突出延链补链强链，围绕新能源汽车、集成电路、人工智能、生物医药等战略性新兴产业和新型显示、光伏、智能家电等主导产业，按照“1+5”（制造基地+研发中心、销售中心、上市主体、供应商集群企业和配套产业基金）招商新路径精准招引，推动更多产业链项目落地。

　　滁州市抢抓长三角一体化发展机遇，每月专题调度，逐季压茬攻坚，每季观摩评比，持续扩投资、稳增长。该市建立“八大产业链”链长制，实行“一套班子、一只基金、一个协会、一个研发平台”模式，推动引进一批投资规模大、科技含量高、牵引力带动力强的项目形成产业集群。上半年，全市新签约亿元以上项目282个，其中百亿元级5个、80亿元3个，超隆光电、国科储能等一批重大项目相继落户。

　　抢占“风口”布局

　　构筑产业优势

　　走进位于滁州经开区的东方日升（安徽）新能源有限公司，记者看到，明亮整洁的生产车间里一派繁忙景象，一辆辆运送物料的AGV小车来回穿梭，太阳能电池片自动化生产线高速运转，一块块硅片经过制绒、扩散、退火等工序流程后，化身为一张张高效单晶PERC电池片。

　　“企业自落户以来发展迅速，2022年实现产值118亿元，目前二期项目正在加快建设，预计今年建成投产。”东方日升企业事务部经理张朝寅说。

　　在全国光伏产业的版图上，滁州板块异军突起、引人注目，光伏产业链也是该市八大产业链的“首链”。近年来，滁州市聚焦打造“世界光伏之都”，立足于优越的资源禀赋和区位优势，引进一大批知名龙头企业投资。截至目前，该市落地和在谈光伏产业重点项目近120个，总投资近3000亿元，累计完成投资近千亿元，其中单体投资超百亿元项目12个、超50亿元项目20个；全球光伏20强企业有9家落户滁州，光伏组件、光伏玻璃、光伏电池的产能分别占全省的60%、50%、50%，全国的11%、21%、6%。该市光伏产业产值连续两年翻一番，今年上半年产值超600亿元、增长65%，全年将超千亿元。

　　在江淮蔚来合肥先进制造基地车间内，伴随着机械长臂快速飞舞，一个个汽车零部件迅速进行冷连接，每1.5分钟就组装成一辆新能源电动汽车。

　　针对性谋划产业项目，兼顾既有和未来。在合肥，智能电动汽车产业集群已成为全国百强产业集群。目前，合肥市已培育或引进大众、比亚迪、蔚来、江淮、长安、安凯6家新能源汽车整车企业，集聚国轩高科、中创新航、巨一科技等500多家配套企业，已覆盖乘用车、客车、货车、专用车等全系列产品，形成整车、关键零部件、应用场景和配套设施全产业链条。

　　“今年上半年，新能源汽车暨智能网联汽车产业链新签约项目81个、协议投资额1072亿元，成为合肥经济增长的强劲引擎。”合肥市投资促进局副局长陈文胜说。

　　当前，合肥还在积极推动区域联动、扩大产业辐射，组建长三角G60科创走廊新能源和网联汽车产业联盟、合肥都市圈新能源汽车产业联盟，与淮南共建新桥科技创新示范区，落户蔚来整车二期、电驱动工厂二期等重点项目。

　　逐梦浩瀚星辰，空天信息产业正在成为新风口。合肥把握未来科创产业“路线图”，涵养产业生态，全力打造“中国星城”。在今年4月举办的2023年中国航天日活动中，来自北京、上海等国内航天领域的头部企业“牵手”合肥，涉及北京国电高科天启合肥总部基地、银河航天合肥星座产业、太空星际InSAR卫星星座等9个重大项目，总投资106亿元。

　　着眼长效投资

　　优化营商环境

　　“铜陵关心、支持企业发展，把企业事当自家事，把企业家当自家人，我们投资铜陵舒心、安心、放心，也有信心、有决心把项目打造成铜陵生物医药产业的重要支柱。”7月8日，安徽博日生物医药产业园项目竣工仪式在铜陵义安经开区举行，杭州博日科技股份有限公司、安徽博日生物科技有限公司董事长贺贤汉在竣工仪式上说。

　　与贺贤汉一样舒心的还有联想控股集团有限公司副总裁严乐平。在马鞍山经开区，由联想控股投资的正奇控股20GW高效N型电池片智能制造产业化项目于今年3月10日签约，5月28日即实现开工建设，用时不到3个月。

　　“进度超出预期，事实证明，来马鞍山投资没错的。”严乐平直言，马鞍山的营商环境、园区配套以及领导干部干事业的精气神均属一流。

　　营商环境就是生产力、竞争力，营商环境越优，经济发展越有活力。当下，区域之间围绕招商引资的竞争日益激烈，全面打响有效投资攻坚战，就必须要加快改革创新步伐，持续优化营商环境。

　　今年7月1日，《铜陵市优化营商环境条例》正式实施，对标先进地区创新做法，巩固已有改革工作成果，从制度层面为优化营商环境提供更有力的保障和支撑。

　　近日，铜陵市还印发工作方案，推动“亲清有约”助企服务工作全覆盖，切实优化基层经营主体经营环境。马鞍山市聚焦重大项目洽谈、签约、建设等“全生命周期”，创新“战法”，深化“七未”（洽谈未签约、签约未开工、开工未竣工、在建未入库、竣工未投产、投产未上规、上规未达产）项目攻坚，分类施策、精准施策，解决项目推进痛点、卡点问题，有效推动了工业投资增长。

　　“原本一系列审批程序走完需要100天左右，这次才几天就办结，顺利拿到施工许可证，节省了两个多月的开工准备时间。”合肥经开区新桥核心部件产业园及基础设施配套项目施工单位负责人表示，7月10日，他们同时取得《不动产权证书》《建设用地规划许可证》《建设工程规划许可证》《建筑工程施工许可证》4本证书，实现了“拿地即开工”。

　　为让审批更高效，合肥经开区、新站高新区探索“四证齐发”服务模式，从召开规划方案并联会至企业拿到施工许可证，时间缩短了约70%。

　　除了“四证齐发”模式外，合肥高新区还通过项目管家服务模式，为149个新入园项目提供报规报建帮办代办服务；合肥经开区在全省首推“小客车注册登记生产企业预查验试点”，实现国产小客车“出厂即查验”，方便群众办理新车登记，促进汽车消费流通……

　　围绕“打造全国最好的营商环境”目标，6月初，合肥市出台“营商环境改革创新试点实施方案”。该市还是我省营商环境改革创新示范区建设3个试点市之一，将聚焦创优营商环境开展先行先试。（本报调研组撰稿：本报记者 刘 洋 罗 宝 贾克帅 丰 静）

　　短评

　　扬己所长 放大优势

　　投资是第一拉力，项目是发展基石，抓项目、促投资是推动经济高质量发展的关键。从组织实施“百团出海外资招大引强”活动全力推动重点外资项目落地，到今年5月启动“投资安徽行”系列活动向世界发出邀约，千方百计推动投资高质量增长，我省的工作力度越来越大。

　　加快引项目，全力拼投资。当前，全省各地已广泛凝聚共识，纷纷营造“大抓项目、抓大项目”的浓厚氛围，采取多样化招商方式，精准、务实、有效招引项目落地，推动产业结构优化与核心竞争力提升。同时，注重项目落地转化，加快推进项目建设，力促企业早日投产达产，“比学赶超”氛围愈加浓厚。

　　面对日趋激烈的区域竞争，以更多样的平台、更利企的政策、更务实的举措、更贴心的服务持续创优营商环境，已经成为全省上下的共识，这也为各地积累了口碑，为未来的发展夯实了基础。

　　当前，安徽走上加快高质量发展的“新风口”，正处在厚积薄发、动能强劲、大有可为的上升期、关键期，吸引着越来越多的投资者看好安徽、投资安徽。我们要有久久为功的心态、拼搏向前的状态，识势、顺势、借势，扬己所长、放大优势，全力以赴激发投资活力，努力创造更大成绩，书写更绚丽的发展篇章。（刘 洋）

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。